[发明专利]用于微机械Z传感器的摆杆装置在审
申请号: | 201510224116.8 | 申请日: | 2015-02-15 |
公开(公告)号: | CN104849493A | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | A·朔伊尔勒;G-N-C·乌尔希里;M·海茨;A·奥尔托 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08;B81B3/00;B81B7/02 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 郭毅 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100),所述摆杆装置:具有两个能够围绕扭转轴线(10)支承的、皿状构造的摆杆臂(20,21),其中,所述摆杆装置(100)相对于所述扭转轴线(10)非对称地构造;对于每个摆杆臂(20,21)具有一个止挡区域,所述止挡区域具有至少一个第一止挡元件(30),其中,在每一个摆杆臂(20,21)上所述止挡区域相对于所述摆杆装置(100)的传感区域(SB)限定地增高地构造。 | ||
搜索关键词: | 用于 微机 传感器 装置 | ||
【主权项】:
一种用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100),所述摆杆装置:具有两个能够围绕扭转轴线(10)支承的、皿状构造的摆杆臂(20,21),其中,所述摆杆装置(100)相对于所述扭转轴线(10)非对称地构造;对于每个摆杆臂(20,21)具有一个止挡区域,所述止挡区域具有至少一个第一止挡元件(30),其中,在每一个摆杆臂(20,21)上所述止挡区域相对于所述摆杆装置(100)的传感区域(SB)限定地增高地构造。
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