[发明专利]一种新型的平板滚动纳米压印装置及压印方法在审
| 申请号： | 201510224766.2 | 申请日： | 2015-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN104793463A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王亮 | 申请（专利权）人： | 王亮 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 李中华 |
| 地址： | 美国德克萨斯州*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本涉及一种压印装置及其压印方法，该装置包括一柔性衬底、一传动装置，包括柔性衬底滚轮、成品滚轮，柔性衬底滚轮和成品滚轮带动柔性衬底连续滚动、一个光刻喷胶装置、至少一个预设有纳米图形单元的平板模具、一紫外曝光系统。柔性衬底滚轮与成品滚轮连续转动从而带动柔性衬底连续移动；使所述的光刻胶喷头与柔性衬底对准，将设定好的光刻胶喷涂在柔性衬底上，然后将涂有光刻胶的柔性衬底与平板模具压印，随后进行紫外曝光，曝光后分离所述的柔性衬底和平板模具，完成一个压印周期；重复所述的步骤二，使所述柔性衬底上获得若干个所述纳米图形单元形成的纳米图形阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 平板 滚动 纳米 压印 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种新型的平板滚动纳米压印装置，其特征在于，包括：一柔性衬底；一传动装置，包括柔性衬底滚轮、成品滚轮，柔性衬底滚轮和成品滚轮带动柔性衬底连续滚动；一个光刻喷胶装置，设于所述传动装置上方且与所述柔性衬底对应；至少一个预设有纳米图形单元的平板模具，平板模具与光刻喷胶装置平行设置，且与所述柔性衬底对应；一紫外曝光系统，对压印后的柔性衬底进行曝光。
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