[发明专利]一种延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法

摘要

本发明公开了一种延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法，通过实时检测药液槽中的金属离子含量，根据实时测得金属离子的浓度与设定的最高浓度值进行比较，判断采用哪一方式进行，如果金属离子含量超过预设值，则药液先通过交换系统把金属离子置换掉再进入药液监控系统，反之，则直接进入药液监控系统。本发明提高了检测精度，提高了自动化程度，提高了药液的检测精度，增加药液对金属的蚀刻能力，提高了蚀刻效率；同时，药液内硝酸盐中的硝酸根能够再度利用，成倍地延长了蚀刻药液在蚀刻过程中的使用寿命，无需频繁更换蚀刻药液，缩短了蚀刻时间，大大减少了药液的使用量，节约了生产成本，优化了蚀刻工艺，提高生产效益。

主权项

一种延长Mo/Al蚀刻药液的使用寿命方法，包括盛放酸性药液的药液槽（1），与药液槽连通且用于抽取药液槽中药液的循环泵（6），循环泵（6）的输出端与用于监控药液中金属离子浓度的金属离子浓度感应器（3）连通，金属离子浓度感应器（3）的输出端分别与药液监控系统（5）和离子交换系统（2）连通，离子交换系统（2）的输出端与药液监控系统（5）连通，药液监控系统的输出端与药液槽（1）连通；在金属离子浓度感应器（3）的输出端与离子交换系统（2）之间设有第一自动阀门开关（4）；在金属离子浓度感应器（3）的输出端与药液监控系统（5）之间设有第二自动阀门开关（8）；药液监控系统的输出端与药液槽（1）之间设有手动阀门开关（7）；所述的药液监控系统（5）内设有PPC，PPC与金属离子浓度感应器（3）、第一自动阀门开关（4）、第二自动阀门开关（8）连接，其特征在于，具体步骤如下：S1.在药液槽（1）中注入酸性药液，在离子交换系统（2）中注入阳离子树脂；S2.在药液监控系统（5）中的PPC设定金属离子的最高浓度值为N1;S3. 打开手动阀门开关（7）；药液流向药液监控系统（5），通过补药液或更换药液流回药液槽（1）；S4.监控系统中的PPC控制第一自动阀门开关（4）闭合、第二自动阀门开关（8）打开；S5.不断的抽取药液槽中的酸性药液与金属反应，反应后产生金属离子，且反应后的药液重新回流至药液槽（1）内；同时，循环泵（6）和药液监控系统（5）工作，药液监控系统实时监控和管理药液的浓度；S6.被循环泵（6）抽取的药液经过金属离子浓度感应器（3），金属离子浓度感应器（3）实时检测流过的药液的金属离子的浓度，记录检测的实时金属离子的浓度值N2并数据发送至药液监控系统中的PPC内；S7.药液监控系统中的PPC接收到金属离子的浓度值为N2的数据后，药液监控系统中的PPC根据其预先设定金属离子的最高浓度值为N1和实时检测的金属离子的浓度值N2的大小进行比较；若金属离子的最高浓度值为N1小于实时检测的金属离子的浓度值N2时，执行下一步；否则，返回步骤S5；S8. 监控系统中的PPC控制第一自动阀门开关（4）打开、第二自动阀门开关（8）闭合，此时，药液槽中的药液流入离子交换系统（2）内，药液中金属离子与阳离子树脂中的氢离子进行离子交换，置换出阳离子树脂中的氢离子；药液中的金属离子从药液中分离出来，氢离子重新补充在药液中，电荷恢复平衡，药液从离子交换系统（2）中流出来；S9.执行步骤S5；S10. 药液监控系统中的PPC接收到金属离子的浓度值为N2的数据后，药液监控系统中的PPC根据药液监控系统（5）中设定金属离子的最高浓度值为N1和实时检测的金属离子的浓度值N2的大小进行比较；若设定金属离子的最高浓度值为N1大于实时检测的金属离子的浓度值N2时，执行下一步；否则，执行步骤S8；S11. 返回步骤S4；S12.重复步骤S4至步骤S9，直至药液槽中的酸性药液被消耗;所述的金属为金属铝或金属钼。