[发明专利]一种原子级真空气态3D打印系统有效
| 申请号： | 201510227075.8 | 申请日： | 2015-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN104962863B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 史继富;徐刚;朱艳青;李育坚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州能源研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 黄培智;莫瑶江 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种原子级真空气态3D打印系统，包括真空装置、方向控制阀、箱体模块，所述真空装置内设有材料靶和用于激发材料靶的气态原子的能量源，激发的气态原子经由用于控制其行进方向的方向控制阀，输送到位于所述箱体模块内的气态打印头上，该箱体模块内设有用于承载成型打印物体的可升降打印台、机械运动机构，还包括用于根据3D打印模型驱动所述机械运动机构，使所述可升降打印台沿垂直于台面的轴线移动、使所述气态打印头保持在可升降打印台的台面上的控制模块。其结构简单合理，实现原子级气态材料的层叠快速成型，成型品的精度高、表面光滑、致密性好，可用于微光机电、微电子和微生物工程等领域，实现一般纳米级或微米级尺寸细微结构的快速成型。 | ||
| 搜索关键词： | 箱体模块 打印台 可升降 原子级 机械运动机构 打印 方向控制阀 打印系统 快速成型 气态原子 真空装置 激发材料 控制模块 模型驱动 气态材料 微光机电 细微结构 致密性好 轴线移动 成型品 打印头 纳米级 能量源 微米级 可用 微电子 成型 垂直 行进 承载 激发 | ||
【主权项】：
1.一种原子级真空气态3D打印系统，其特征在于：包括真空装置、方向控制阀、箱体模块，所述真空装置内设有材料靶和用于激发材料靶的气态原子的能量源，激发的气态原子经由用于控制其行进方向的方向控制阀，输送到位于所述箱体模块内的气态打印头上，该箱体模块内设有用于承载成型打印物体的可升降打印台、机械运动机构，还包括用于根据3D打印模型驱动所述机械运动机构，使所述可升降打印台沿垂直于台面的轴线移动、使所述气态打印头保持在可升降打印台的台面上的控制模块；所述方向控制阀置于真空装置和箱体模块的气态原子通道上；控制模块根据构建好的3D打印模型，控制机械运动机构，使气态打印头在可升降打印台的台面范围内自由移动并将气态原子打印成型，打印完一层后，可升降打印台下降一层，再根据需要打印第二层，如此实现层层打印、层叠成型，得到所要的纳米级或微米级的细微结构。
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