[发明专利]一种高精度非接触式三维微小力发生装置

摘要

本发明公开了一种高精度非接触式三维微小力发生装置，包括非接触式微力发生器、方向调节杆和旋转平台、固定底座，所述旋转平台安装在固定底座上，所述方向调节杆与旋转平台铰接，所述非接触式微力发生器安装在方向调节杆上。本发明增设了方向调节杆和旋转平台，通过方向调节杆和旋转平台的调节作用，不仅能够产生竖直方向上的微小力值，还能在水平方向及其它非竖直方向产生微小力值，具有极大的灵活性且精度较高；采用了新型非接触式结构的非接触式微力发生器，在检测校准时可以有效避免用力过大而造成的被检装置损坏或对被检装置造成不可恢复的影响，更加可靠。本发明可广泛应用于力学计量领域。

主权项

1.一种高精度非接触式三维微小力发生装置，其特征在于：包括：非接触式微力发生器，用于在外加电压的作用下产生微小静电力；方向调节杆(6)和旋转平台(7)，用于调整非接触式微力发生器在三维空间中的方向；固定底座(1)，用于固定旋转平台(7)；所述旋转平台(7)安装在固定底座(1)上，所述方向调节杆(6)与旋转平台(7)铰接，所述非接触式微力发生器安装在方向调节杆(6)上；所述非接触式微力发生器为叉指微力发生器，所述叉指微力发生器的上下极板间的结构为叉指状结构，所述叉指微力发生器的上下极板分别与外部的正负电极(V+和V‑)连接，所述叉指微力发生器的下极板安装在方向调节杆(6)上。