[发明专利]一种快速扫描原子力显微检测方法及系统

摘要

本发明公开了一种快速扫描原子力显微检测方法及系统。它包括快速扫描原子力显微检测主体探头、光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块、计算机；光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块分别与快速扫描原子力显微检测主体探头、计算机连接。快速扫描原子力显微检测主体探头的X方向快速片状扫描器独立实现微探针的X方向快速扫描，Y方向快速扫描器独立实现样品的Y方向快速扫描，且Z方向反馈与Y方向扫描正交独立。本发明克服了常规型AFM的局限性，可实现微纳米样品的高速度、高精度、无畸变的快速扫描与原子力显微检测成像。

主权项

一种快速扫描原子力显微检测系统，其特征在于包括快速扫描原子力显微检测主体探头（1）、光电流/电压转换放大器（2）、Z向负反馈控制模块（3）、X方向快速扫描控制模块（4）、Y方向快速扫描控制模块（5）、计算机（6）；光电流/电压转换放大器（2）、Z向负反馈控制模块（3）、X方向快速扫描控制模块（4）、Y方向快速扫描控制模块（5）分别与快速扫描原子力显微检测主体探头（1）、计算机（6）连接；所述的快速扫描原子力显微检测主体探头（1）包括微探针（7）、X方向快速片状扫描器（8）、样品（9）、Z向反馈控制器（10）、凹形块（11）、Y方向快速扫描器（12）、基块（13）、激光器（14）、第一楔形反射镜（15）、集束透镜（16）、第二楔形反射镜（17）、光电偏转探测器（18）、横架（19）、升降主块（20）、导轨（21）、调节机构（22）、立块（23）、底座（24）；微探针（7）安装在X方向快速片状扫描器（8）外端，后者左端固定在升降主块（20）上；样品（9）安装在Z向反馈控制器（10）上，后者下沉式安装在凹形块（11）上；凹形块（11）两侧与Y方向快速扫描器（12）固定，后者另两端固定在基块（13）上；基块（13）安装在底座（24）上；激光器（14）、第一楔形反射镜（15）、集束透镜（16）均固定在横架（19）上；第二楔形块（17）、光电偏转探测器（18）、横架（19）安装在升降主块（20）上；升降主块（20）通过导轨（21）安装在立块（23）上，通过调节机构（22）使升降主块（20）微调升降；立块（23）安装在底座（24）上。