[发明专利]一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201510232926.8 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN105016293B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 王连卫;张弛;李劢;朱一平;徐少辉 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01J9/00 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司31227 | 代理人： | 吴泽群 |
| 地址： | 200062 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作球面硅微通道板的装置及其制备方法，包括切割成圆形的硅微通道板，所述的硅微通道板置于一模具台中，所述的模具台由中心设有与硅微通道板大小匹配的台阶孔，硅微通道板置于台阶孔中；模具台上设置有重压片，所述重压片完全覆盖台阶孔；模具台置于一石英架上；将石英架、模具台、重压片和硅微通道板置于氧化炉管中。本发明具有以下有益效果1.本发明是通过模具对热氧化时的氧气进行引导形成梯度。并且模具还会对球面微通道表面起到一定的约束作用，以助于达到确定的曲率半径。2.使用模具台控制氧化梯度，使得氧化层厚度也形成梯度，引起梯度应力，释放该应力即形成球面的硅微通道板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 球面 通道 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种球面硅微通道板的制备方法，其特征在于：其步骤如下：(1)将平面硅微通道板激光切割成所需形状大小；(2)将切割好的平面硅微通道板装载在模具台的台阶孔中；(3)连同模具台一起进行热氧化，形成球面硅微通道板；氧化采用硅工艺的热氧化工艺，采用干氧‑湿氧‑干氧的工艺顺序，有效形成较高质量的二氧化硅。
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