[发明专利]等离子体压力显示膜片及其稳态标定系统和测量系统有效
| 申请号： | 201510238994.5 | 申请日： | 2015-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN105181235B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张文强;林峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院工程热物理研究所 |
| 主分类号： | G01L23/16 | 分类号： | G01L23/16;G01L27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体压力显示膜片，以及其静态标定系统和利用其测量气体压力的系统。该等离子体压力显示膜片采用高频高压的交流电驱动，当布置在待测表面时，利用等离子体亮度与所处气压之间的一一对应关系，通过测量等离子体的亮度来获得气体压力。等离子体压力显示膜片结构简单、布置灵活，空间分辨率高，初步的研究表明也有较高的频响，适合高频的气动流场测量。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 压力 显示 膜片 及其 稳态 标定 系统 测量 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体压力显示膜片，其特征在于，该等离子体压力显示膜片为层状结构，包括裸露金属薄膜(101)、绝缘膜片(102)、掩埋金属薄膜(103)和绝缘覆盖薄膜(104)共四层，其中，裸露金属薄膜(101)设置于绝缘膜片(102)的正面，掩埋金属薄膜(103)设置于绝缘膜片(102)的背面，绝缘覆盖薄膜(104)覆盖于绝缘膜片(102)背面的掩埋金属薄膜(103)之上；其中，所述裸露金属薄膜(101)为空心圆孔阵列，所述掩埋金属薄膜(103)为实心圆点阵列，裸露金属薄膜(101)和掩埋金属薄膜(103)分布在绝缘膜片(102)的两个表面，且上下相对布置。
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