[发明专利]一种光致伸缩复合膜及其制作的光驱动器有效
| 申请号： | 201510242924.7 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN104868048B | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;符春林;高荣礼;蔡苇;邓小玲 | 申请（专利权）人： | 重庆科技学院 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L31/02 |
| 代理公司： | 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙)50223 | 代理人： | 王玉芝 |
| 地址： | 401331*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光致伸缩复合膜及其制作的光驱动器，该复合膜依次由衬底层、下电极层、压电材料层、中间电极层、光伏材料层和顶电极层组成，将压电材料和光伏材料制成薄膜形式，有利于减小光驱动器的尺寸；将压电薄膜和光伏薄膜制成复合膜，分别增强光伏材料层的光电效应和压电材料层的逆压电效应，从而有利于提高光驱动器的光致伸缩效应。本发明的光驱动器的下电极的截面设计为L形，将压电材料层、光伏材料层和顶电极层设置在L型腔内并与下电极连接，实现底电极和顶电极层的无导线导通，进一步有利于减少光驱动器的尺寸，可使光驱动器更美观。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 伸缩 复合 及其 制作 驱动器 | ||
【主权项】：
一种光致伸缩复合膜，其特征在于：包括：一衬底层；一底电极层，生长在衬底层上；一压电材料层，沉积在底电极层上；一中间电极层，沉积在压电材料层上；一光伏材料层，沉积在中间电极层上，所述光伏材料层选用Pb1‑xLaxZr1‑yTiyO3，钛酸钡(BaTiO3)、铁酸铋(BiFeO3)铁电材料中的一种制成，其中，0<x<1，0<y<1；一顶电极层，沉积在光伏材料层上，选用透光的导电材料制成。
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