[发明专利]用于制作液晶显示面板的方法及液晶显示面板有效
申请号: | 201510245675.7 | 申请日: | 2015-05-14 |
公开(公告)号: | CN104808378B | 公开(公告)日: | 2017-12-29 |
发明(设计)人: | 付延峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 朱绘,张文娟 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于制作液晶显示面板的方法及液晶显示面板,该方法包括在基底上涂敷一层金属材料形成金属材料层;在金属材料层上涂敷一层光阻材料;采用第一掩膜板对光阻材料进行第一次曝光处理;采用第二掩膜板对光阻材料进行第二次曝光处理;对经过两次曝光处理后的光阻材料进行显影处理以裸露出部分金属材料;对裸露的金属材料进行蚀刻处理以形成栅金属层。本发明可以避免液晶显示面板出现水平渐变线,改善液晶显示面板的显示效果。 | ||
搜索关键词: | 用于 制作 液晶显示 面板 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制作液晶显示面板的方法,包括:在基底上涂敷一层金属材料形成金属材料层;在所述金属材料层上涂敷一层光阻材料;采用第一掩膜板对所述光阻材料进行第一次曝光处理;采用第二掩膜板对所述光阻材料进行第二次曝光处理;对经过两次曝光处理后的光阻材料进行显影处理以裸露出部分金属材料;对裸露的金属材料进行蚀刻处理以形成栅金属层,所述光阻材料为负性光阻材料,所述栅金属层包括主像素栅极、主像素公共电极、辅像素栅极和辅像素公共电极,通过所述第一掩膜板和所述第二掩膜板的透光区域形成主像素栅极图案、主像素公共电极图案、辅像素栅极图案和辅像素公共电极图案,所述主像素栅极位于所述辅像素栅极和所述主像素公共电极之间,所述辅像素栅极位于所述主像素栅极和所述辅像素公共电极之间,其中,通过所述第一掩膜板产生的曝光图案包括所述主像素栅极图案和所述辅像素公共电极图案;通过所述第二掩膜板产生的曝光图案包括所述辅像素栅极图案和所述主像素公共电极图案。
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