[发明专利]一种腐蚀箔清洗方法、腐蚀箔清洗装置有效
申请号: | 201510246564.8 | 申请日: | 2015-05-14 |
公开(公告)号: | CN104789976B | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 徐建华 | 申请(专利权)人: | 吴江飞乐天和电子材料有限公司 |
主分类号: | C23G3/00 | 分类号: | C23G3/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215236 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种腐蚀箔清洗方法、腐蚀箔清洗装置。腐蚀箔清洗方法包括以下步骤腐蚀箔在进入清洗液一内时,在所述腐蚀箔与所述清洗液一的交界处,采用清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度一喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;所述腐蚀箔在离开所述清洗液一时,在所述腐蚀箔与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度二喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波。由于腐蚀箔在进入清洗液一和出清洗液一时都受到清洗液二的冲击引起的激荡波,该波沿着腐蚀箔的运行方向在清洗液一中传导,因而使得腐蚀箔在经过整个清洗的过程中,始终受到清洗液一的震荡波的冲击而大大提升了清洗的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 腐蚀 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种腐蚀箔清洗方法,其特征在于:其包括以下步骤:腐蚀箔在进入清洗液一内时,在所述腐蚀箔与所述清洗液一的交界处,采用清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度一喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;所述腐蚀箔在离开所述清洗液一时,在所述腐蚀箔与所述清洗液一的交界处,采用所述清洗液二以与所述清洗液一的液面呈一定的角度二喷射,使所述清洗液一的液面激起激荡波;所述角度一与所述角度二均采用角度范围:30°—60°。
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