[发明专利]一种近场耦合无线无源超高温压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510246997.3 | 申请日： | 2015-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN105136350B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 熊继军;陈晓勇;丑修建;刘俊;贾平岗;谭秋林;梁庭;洪应平;李晨;穆继亮;安坤 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 03005*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种近场耦合无线无源超高温压力传感器及其制备方法，该传感器由近场耦合力敏结构、耐高温波导和耐高温天线构成，所述近场耦合力敏结构由平面谐振器、介质层或金属与介质复合层构成，所述介质层或金属与介质复合层构成力敏膜，平面谐振器和介质层或金属层之间使用空心耐高温筒体隔开。本发明以近场耦合理论作为压力信号、电磁场耦合依据设计力敏结构，极大的减少了传感器体积和压力信号、电磁场耦合灵敏度；基于近场耦合理论的近场耦合力敏结构无需侧壁涂覆金属，降低了加工难度，避免了腔内壁转角、折弯及形状突变处金属涂覆，保证了金属涂层与基片粘接可靠性，进而保证本超高温压力传感器可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 近场 耦合 无线 无源 超高温 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种近场耦合无线无源超高温压力传感器，其特征在于，所述传感器由近场耦合力敏结构、耐高温波导和耐高温天线构成，所述近场耦合力敏结构由平面谐振器、介质层或金属与介质复合层构成，所述介质层或金属与介质复合层构成力敏膜，平面谐振器、介质层或金属与介质复合层之间使用的空心耐高温筒体隔开，介质层或金属与介质复合层、空心耐高温筒体、平面谐振器三者密封成一体，所述耐高温天线通过耐高温波导与所述平面谐振器连接。
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