[发明专利]一种用于光学超分辨成像的可编程相位型光瞳滤波器

摘要

本发明涉及一种用于光学超分辨成像的可编程相位型光瞳滤波器，采用自适应光学系统中的波前校正器，利用其可以快速改变波前相位的特点，通过软件控制波前校正器产生所需的光瞳滤波器位相结构，并将其置于成像光学系统瞳面上实现超分辨成像。波前校正器产生的光瞳滤波器位相由波前传感器进行测量，测量结果输入计算机与设定的滤波器位相结构做对比，根据对比结果进一步修正波前校正器，重复这一过程，实现对光瞳滤波器位相结构的闭环拟合。滤波器位相结构可以通过编程任意改变，具有结构灵活多样、实现简单快速、成本低廉等优点。

主权项

一种用于光学超分辨成像的可编程相位型光瞳滤波器，其特征在于：设计超分辨光瞳滤波器位相结构，将波前校正器置于成像光学系统瞳面上，通过自适应光学系统控制波前校正器产生已设计好的超分辨光瞳滤波器位相结构，实现超分辨物体成像；波前校正器产生的超分辨光瞳滤波器位相由波前传感器进行测量，测量结果输入计算机与设定的超分辨滤波器位相结构进行对比，根据对比结果进一步修正波前校正器，重复这一过程，实现对光瞳滤波器位相结构的闭环拟合；所述可编程相位型光瞳滤波器包括信标光源、第一中继光学系统、波前校正器、第二中继光学系统、第一反射镜，第二反射镜、波前传感器；波前校正器通过第一中继光学系统与系统入瞳光学共轭，波前校正器通过第二中继光学系统与波前传感器光学共轭；信标光源发出的平行光经第一中继光学系统、波前校正器、第二中继光学系统、第一反射镜后，通过第二反射镜到达波前传感器，波前传感器实时测量波前校正器的相位分布并将测量结果送至计算机；计算机根据测得的相位分布，并与设定的滤波器位相结构进行对比，根据对比结果经计算机控制软件处理，得到波前校正器的控制电压，经高压放大器对所述控制电压进行放大后，驱动波前校正器产生相应变化，以闭环拟合需要的光瞳滤波器相位结构。