[发明专利]一种电子束区域熔炼多晶硅设备及排除杂质的方法在审
| 申请号： | 201510252743.2 | 申请日： | 2015-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN104878448A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;秦世强;石爽;谭毅;姜大川 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C30B28/08 | 分类号： | C30B28/08;C30B29/06 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束区域熔炼多晶硅设备，包括熔炼炉和设置在所述熔炼炉内的区域熔炼坩埚，所述熔炼炉的侧壁上部设有观察窗，所述熔炼炉的底端设有冷却水进水口和冷却水出水口，其特征在于：在所述区域熔炼坩埚的右侧上方设有电子枪，所述电子枪的电子束从所述区域熔炼坩埚的左侧向右侧区域移动，且对铺设在所述区域熔炼坩埚上的硅块加热。本发明还公开了应用该设备排除杂质的方法。本发明实现了硅块的连续化熔炼和凝固，通过控制电子束的移动速度，使电子束照射区域熔炼蒸发出蒸汽压大的元素，同时在照射区的左侧由于电子束的移动形成温度逐步变化，使左侧的硅液实现定向凝固，缩短了单炉生产时间，设备简单方法易行，节省了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 区域 熔炼 多晶 设备 排除 杂质 方法 | ||
【主权项】：
一种电子束区域熔炼多晶硅设备，包括熔炼炉和设置在所述熔炼炉内的区域熔炼坩埚，所述熔炼炉的侧壁上部设有观察窗，所述熔炼炉的底端设有冷却水进水口和冷却水出水口，其特征在于：在所述区域熔炼坩埚的右侧上方设有电子枪，所述电子枪的电子束从所述区域熔炼坩埚的左侧向右侧区域移动，且对铺设在所述区域熔炼坩埚上的硅块加热。
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