[发明专利]一种生物神经突触仿生电子器件及其制备方法在审
申请号: | 201510255588.X | 申请日: | 2015-05-19 |
公开(公告)号: | CN104934534A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 诸葛飞;潘若冰;曹鸿涛;竺立强;李俊 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人: | 张宇娟 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种生物神经突触仿生电子器件及其制备方法。该生物神经突触仿生电子器件从上至下依次包括上电极、与上电极连接的中间绝缘层以及与中间绝缘层连接的下电极;且上电极的材料为金属钛,中间绝缘层的材料为金属氧化物。该器件的制备方法如下:(1)依次在衬底上形成导电层和绝缘层;(2)在所述的绝缘层上形成若干个相互隔离的上电极;(3)对导电层和绝缘层进行刻蚀除去未被上电极覆盖的区域,即得到相互隔离的生物神经突触仿生电子器件。本发明通过采用合适的上电极与电绝缘薄膜组合,使制备的生物神经突触仿生电子器件表现出纯电子行为,不涉及器件内部微结构的改变,因此大幅改善了突触仿生电子器件的时间保持性和抗疲劳特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 生物 神经 突触 仿生 电子器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种生物神经突触仿生电子器件,所述器件从上至下依次包括上电极、与上电极连接的中间绝缘层以及与中间绝缘层连接的下电极,其特征在于:所述上电极的材料为金属钛,所述中间绝缘层的材料为金属氧化物。
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