[发明专利]列管式多晶硅生产装置有效
| 申请号： | 201510261031.7 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN104891508B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 阎建民;肖文德;李学刚;梁正;罗漫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C01B33/154 | 分类号： | C01B33/154 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅的制造技术，具体而言，涉及通过化学气相沉积反应炉制造多晶硅硅棒的生产装置。所述装置包括封头、冷却夹套、硅芯、布气夹套、电极座和电极夹套。所述冷却夹套为列管式结构，所述列管之间通流冷却介质。所述装置便于实现不同生长阶段的温度调节，为沉积反应过程控制提供新的技术途径，其相对于传统的冷却套筒方式结构简单，操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 列管 多晶 生产 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产装置，包括封头、冷却夹套、硅芯、布气夹套、电极座和电极夹套，其特征在于，所述冷却夹套为整体列管式结构，所述列管之间通流冷却介质，所述列管相互平行，其两端分别连接于上管板和下管板，所述上管板与所述封头通过法兰相连接，所述下管板与位于其上方且邻近的第三管板之间形成所述布气夹套，所述布气夹套上设有反应进料气体入口，所述封头上设有反应尾气出口。
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