[发明专利]一种光学透明频率选择表面结构及制作方法有效
申请号: | 201510262958.2 | 申请日: | 2015-05-21 |
公开(公告)号: | CN104950365B | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 韩余;金鹏 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;H01P1/20 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)23209 | 代理人: | 陈润明 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种光学透明频率选择表面结构及制作方法属于光学窗技术领域;所述频率选择表面结构包括衬底,分布在衬底上的表面具有周期开孔阵列的透明网栅膜;制作方法首先在衬底上表面涂覆掩模液,并在特定条件下,将掩模液自然干燥形成裂纹模板;接着在裂纹模板表面沉积导电金属层;然后去除裂纹模板,得到连续的透明网栅膜;再在透明网栅膜上制作开孔阵列掩模结构或其互补结构;并去除掩模结构未覆盖的透明网栅膜;最后去除掩模结构,得到光学透明频率选择表面结构;本发明不仅避免因金属线宽增加而降低光学窗透光性能的问题,而且避免传统机械摩擦方式同时降低光学窗的透光性能和电磁屏蔽性能,还给出了解决高级次衍射能量分布不均匀问题的具体加工条件。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 透明 频率 选择 表面 结构 制作方法 | ||
【主权项】:
一种光学透明频率选择表面结构,包括衬底(1),分布在衬底(1)上的透明网栅膜(2),其特征在于,所述的透明网栅膜(2)表面具有周期开孔阵列(3);所述的透明网栅膜(2)的形状为20~25℃温度和50~80%RH湿度条件下,含有丙烯酸树脂的裂纹甲油自然干燥形成的图形;所述的周期开孔阵列(3)内部,具有以下两种结构中的一种:结构一、不含有透明网栅膜(2);结构二、含有透明网栅膜(2),孔内的透明网栅膜(2)和孔外的透明网栅膜(2)不连通。
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