[发明专利]原位在线检测装置及材料制备装置

摘要

本发明公开一种原位在线检测装置及材料制备装置，该一种原位在线检测X射线衍射谱仪包括X射线光源；毛细管X射线会聚准直透镜，用于会聚X射线光源射出的X射线并对其进行准直；毛细管X射线准直会聚透镜，其入口焦斑与毛细管X射线会聚准直透镜的出口焦斑重合形成用于照射样品的共聚焦微元；毛细管X射线准直会聚透镜用于准直来自共聚焦微元内样品对应的X射线衍射信号并对其进行会聚；X射线探测器，设置于毛细管X射线准直会聚透镜的出口端，用于探测样品对应的X射线衍射信号，对样品生长过程中的材料结晶度进行原位在线检测。因此，实施本发明能对材料形成过中不同时刻的结晶度进行原位在线检测，从而判断材料的生长过程和特性。

主权项

一种便携式原位在线检测X射线衍射谱仪，其特征在于，包括：X射线光源(1)，包括靶材为银靶的实验室普通的X射线光管，光源的功率范围为5‑550瓦；多孔固体式毛细管X射线会聚准直透镜(2)，用于会聚所述X射线光源(1)射出的X射线并对其进行准直；所述毛细管X射线会聚准直透镜(2)包括第一会聚段和第一准直段，所述第一准直段设置于所述第一会聚段的出口端，并与之连通；其中，第一会聚段沿其长度方向上的外形为双叶双曲面段，该双叶双曲面段的长度为L1；第一准直段沿其长度方向上的外形为圆柱面段，该圆柱面段的长度为L2，且L1与L2的长度之和的范围为3‑16厘米；多孔固体式毛细管X射线准直会聚透镜(4)，其入口焦斑与所述毛细管X射线会聚准直透镜(2)的出口焦斑重合形成用于照射样品的共聚焦微元(3)；所述毛细管X射线准直会聚透镜(4)用于收集来自所述共聚焦微元(3)内样品对应的X射线衍射信号，并对该X射线衍射信号进行准直后会聚；X射线探测器(5)，设置于所述毛细管X射线准直会聚透镜(4)的出口端，用于探测收集所述样品对应的X射线衍射信号，对所述样品生长过程中的材料结晶度进行原位在线检测，并对收集到的所述样品对应的X射线衍射信号进行分析。