[发明专利]MEMS结构体、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510266530.5 | 申请日： | 2015-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN105293417A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 稻叶正吾;蝦名昭彦 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供MEMS结构体、电子设备以及移动体，所述MEMS结构体具有优异的频率特性，所述电子设备以及移动体具有该MEMS结构体。本发明的MEMS结构体(1)具有：基板(2)；配置于基板(2)的下部电极(51)；上部电极(53)，其具有与下部电极(51)分离地相对配置的可动部(531)；以及加强部(541、542)，其以沿着可动部(531)扩展的方向延伸的方式配置于上部电极(53)，由杨氏模量比上部电极(53)大的材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构体，其特征在于，具有：基板；固定电极，其配置在所述基板的上方；可动电极，其具有与所述固定电极分离地相对配置的可动部；以及加强部，其以沿着所述可动部扩展的方向延伸的方式配置于所述可动电极，该加强部包含杨氏模量比所述可动电极大的材料。
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