[发明专利]一种自动调焦的对准系统及对准方法

摘要

本发明提供一种自动调焦的对准系统及对准方法，依次包括：光源、波长选择单元、照明镜组、照明调节单元、分束单元、成像物镜组、分光单元、参考标记面及参考标记、硅片以及对准标记、运动台，分光单元依次连接成像调节单元、成像镜组、探测器，探测器、成像调节单元、照明调节单元、运动台皆与信号处理与控制单元连接，照明光同时照射参考标记与对准标记，系统先搜索并标定参考标记的最佳焦面，然后将参考标记与对准标记上反射的光的干涉条纹形成的干涉包络极值在参考标记区域的位置进行计算，便可确定对准标记上与最佳焦面偏离值，将对准标记移动到最佳焦面即调焦完成，本发明具有自动、精准、快速地调焦以及降低环境对对准精确性影响的特点。

主权项

1.一种自动调焦的对准系统，其特征在于，依次包括：光源(10)、波长选择单元(20)、照明镜组(30)、照明调节单元(40)、分束单元(50)、成像物镜组(601)、分光单元(70)、参考标记面(90)及位于参考标记面(90)上的参考标记(901)、硅片(80)以及位于硅片(80)表面的对准标记(801)、运动台(802)，所述分光单元还依次连接成像调节单元(100)、成像镜组(602)、探测器(110)，所述探测器(110)、成像调节单元(100)、照明调节单元(40)、运动台(802)皆与信号处理与控制单元(200)电路连接；所述光源(10)发出光，经过所述波长选择单元(20)后，由所述照明镜组(30)接收光并输出，经过所述照明调节单元(40)形成第一入射光路(101)，然后由所述分束单元(50)反射至所述成像物镜组(601)，接着经过所述分光单元(70)将光分成两路，一路为照射所述参考标记面(90)的参考入射光路(103a)，另一路为照射所述硅片(80)的测量入射光路(102a)；由所述硅片(80)表面反射所述测量入射光路(102a)形成测量反射光路(102b)，由所述参考标记面(90)表面反射所述参考入射光路(103a)形成参考反射光路(103b)，由所述分光单元(70)将所述测量反射光路(102b)和参考反射光路(103b)汇集，通过所述成像物镜组(601)输出第一反射光路(104)，并且经过所述分束单元(50)将第一反射光路(104)透射形成第二反射光路(105)；所述第二反射光路(105)由所述成像调节单元(100)接收，然后经过所述成像镜组(602)聚焦传输给所述探测器(110)；所述探测器(110)探测所述对准标记(801)与所述参考标记(901)位置的干涉信息，并发送到所述信号处理及控制单元(200)，所述信号处理及控制单元(200)根据所述干涉信息计算所述对准标记(801)当前垂向位置偏离成像的最佳焦面的距离，对所述运动台(802)进行控制。