[发明专利]利用选择腐蚀衬底剥离制备薄膜太阳能电池的工艺

摘要

本发明属于太阳能电池领域，具体提供了一种利用选择腐蚀衬底剥离制备薄膜太阳能电池的工艺，包括下述步骤：在支撑衬底上，依次生长电池有源层、电池本体层；在电池本体层方向，使用BCB胶与廉价衬底键合；选择腐蚀衬底剥离工艺将支撑衬底及电池有源层剥离；将前述步骤得到的太阳能电池本体层在首结方向通过BCB胶键合到硅衬底；将BCB胶剥离，得到完整的电池本体层，即电池功能结构。本发明选用BCB胶与廉价衬底配合，封闭一端，在另一端选用选择腐蚀衬底剥离工艺，去除有源层后，也使用BCB胶封闭，最后统一将BCB胶腐蚀掉，得到完整电池本体结构的方法，腐蚀下来的支撑衬底可以重复利用，大大降低了制造成本，而且操作简单，成功率高。

主权项

利用选择腐蚀衬底剥离制备薄膜太阳能电池的工艺，包括下述步骤：1)在支撑衬底上，依次生长电池有源层、电池本体层；2)在电池本体层方向，使用BCB胶与廉价衬底键合；3)选择腐蚀衬底剥离工艺将支撑衬底及电池有源层剥离；4)将步骤3得到的太阳能电池本体层在首结方向通过BCB胶键合到硅衬底；5)将BCB胶剥离，得到完整的电池本体层，即电池功能结构。