[发明专利]成膜装置

摘要

本发明提供实用性优异的成膜装置，能够简单地将挠性基板以无褶皱状态安装固定于基板安装部。一种成膜装置，将挠性基板(1)安装固定于基板安装部(2)并在该挠性基板(1)上形成薄膜，其中，在对所述挠性基板(1)的周边部以自由装卸的方式进行把持而安装固定的所述基板安装部(2)上设置有基板配设开口部(3)，该基板配设开口部(3)将该挠性基板(1)配设为架设状态，该成膜装置设置有凸面状基板承受部(4)，该凸面状基板承受部(4)与配设于该基板安装部(2)的基板配设开口部(3)的所述挠性基板(1)密合抵接，该成膜装置设置有施力把持机构(5)，该施力把持机构(5)将所述挠性基板(1)的周边部把持于所述基板安装部(2)，并且向外侧拉伸施力而对所述挠性基板(1)赋予张力而进行安装固定。

主权项

1.一种成膜装置，该成膜装置将挠性基板安装固定于基板安装部并在该挠性基板上形成薄膜，其特征在于，在对所述挠性基板的周边部以自由装卸的方式进行把持而安装固定的所述基板安装部上设置有基板配设开口部，该基板配设开口部将该挠性基板配设为架设状态，该成膜装置设置有凸面状基板承受部，该凸面状基板承受部与配设于该基板安装部的基板配设开口部的所述挠性基板密合抵接，该成膜装置设置有施力把持机构，该施力把持机构将所述挠性基板的周边部把持于所述基板安装部，并且向外侧拉伸施力而对所述挠性基板赋予张力而安装固定，通过所述施力把持机构而对所述挠性基板进行了安装固定的所述基板安装部构成为相对于所述凸面状基板承受部相对移动自如，并且所述施力把持机构构成为在所述相对移动方向上抵抗所述施力而移动自如，该成膜装置构成为：通过使所述基板安装部相对于所述凸面状基板承受部相对移动，从而将所述凸面状基板承受部向配设于该基板安装部的所述基板配设开口部的所述挠性基板推压，并且一边通过因所述施力把持机构向所述相对移动方向的弹性移动而产生的返回施力对所述挠性基板赋予张力，一边将该挠性基板推压于所述凸面状基板承受部。