[发明专利]一种石英坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201510274562.X | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN104962991B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 彭立华;秦善;季勇升 | 申请（专利权）人： | 江苏润弛太阳能材料科技有限公司;北京大学 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 212218 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石英坩埚及其制备方法，该石英坩埚包括石英坩埚本体、依次涂覆在石英坩埚本体内壁的碳化硅涂层与氮化硅涂层；所述碳化硅涂层包括碳化硅与二氧化硅；所述氮化硅涂层包括氮化硅与二氧化硅。与现有技术相比，本发明先在石英坩埚本体内壁涂覆一层碳化硅涂层，碳化硅在热导率、膨胀系数、密度、高温耐压强度等方面与氮化硅涂层接近，与石英坩埚本体结合力较强，并且其可在坩埚内壁形成致密的保护层；同时在碳化硅涂层上涂覆一层氮化硅涂层，使得石英坩埚既可有效阻止坩埚杂质对硅锭的污染，又具有良好的脱模作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种石英坩埚，其特征在于，包括：石英坩埚本体、依次涂覆在石英坩埚本体内壁的碳化硅涂层与氮化硅涂层；所述碳化硅涂层包括碳化硅与二氧化硅；所述碳化硅与二氧化硅的质量比为(40～80)：(3～30)；所述氮化硅涂层包括氮化硅与二氧化硅；所述氮化硅与二氧化硅的质量比为(40～80)：(3～30)。
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