[发明专利]面板湿制程排气装置有效
| 申请号： | 201510282061.6 | 申请日： | 2015-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104950488B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李嘉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出。根据本发明可以有效节省排气管道的占用空间，而且布局更加紧凑美观。 | ||
| 搜索关键词： | 面板 湿制程 排气装置 | ||
【主权项】：
一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，其特征在于，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出，所述面板湿制程排气装置还包括水汽分离装置、第二排气支管和第二防水盖板，所述第一排气支管连接于所述水洗单元和所述水汽分离装置之间，所述第二排气支管连接于所述水汽分离装置与所述排气主管之间，所述第二防水盖板设置在所述第二排气支管的进气口处，所述第二排气支管的进气口与所述水汽分离装置底面连接，且所述第二排气支管进气口与所述水汽分离装置的内部空间相通。
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