[发明专利]一种晶体硅太阳能电池生产工艺

摘要

本发明公开了一种晶体硅太阳能电池生产工艺，它包括以下几个步骤：（1）清洗、制绒；（2）扩散、刻蚀；（3）检测；（4）减反射膜沉积；（5）印刷、烧结；（6）检测分选；（7）包装入库；为了保证产品质量的一致性，通常要对每个电池片测试，并按电流和功率大小进行分类，也可根据电池效率进行分级；对硅片进行离心甩干，是在真空条件下进行的；扩散设备工作温度为800-900℃。本发明工艺流程简单、合理，能有效提高产品质量及成品率，节约资源；降低了对制作太阳能电池材料的要求，提高了电池短路电流和开路电压。

主权项

一种晶体硅太阳能电池生产工艺，其特征在于：它包括以下几个步骤：（1）清洗、制绒：用化学碱或酸腐蚀硅片，以去除硅片表面机械损伤层，并进行硅片表面织构化，形成金字塔结构的绒面从而减少光反射；（2）扩散、刻蚀：先将清洗后的硅片使用离心甩干机进行甩干，再将甩干后的硅片放置在扩散设备上进行扩散，最后用腐蚀磷硅玻璃和等离子刻蚀边缘电流通路；（3）检测：对扩散、刻蚀后的硅片进行检测，看是否满足工艺要求，剔出不合格产品；（4）减反射膜沉积：采用等离子体增强型化学气相沉积技术在电池表面沉积一层氮化硅减反射膜，不仅可以减少光的反射，而且有大量的氢原子进入，因此也起到了很好的表面钝化和体钝化的效果；（5）印刷、烧结：为了从电池上获取电流，一般在电池的正、背两面制作电极，正面栅网电极的形式和厚度要求一方面要有高的透过率，另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻，背面做成BSF结构，以减小表面电子复合，印刷后要进行高温烧结；（6）检测分选：为了保证产品质量的一致性，通常要对每个电池片测试，并按电流和功率大小进行分类，也可根据电池效率进行分级；（7）包装入库：将分选好的电池片一部分可以进行包装、入库。