[发明专利]一种轮廓检测装置及其检测光学非球面的方法有效
申请号: | 201510288139.5 | 申请日: | 2015-05-29 |
公开(公告)号: | CN105043290B | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 季勇华;解滨 | 申请(专利权)人: | 苏州大学张家港工业技术研究院;苏州大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 常亮 |
地址: | 215699 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种轮廓测量装置,用于检测光学非球面的面型轮廓,包括导轨和移动设置在所述导轨上的测量机构,其中,所述测量机构包括:与所述导轨滑动连接的连接件;设置在所述连接件上的杠杆机构,所述杠杆机构的杠杆的一端,连接有能够与光学非球面接触的球头,另一端连接有测量探头。本发明提供的轮廓检测装置,因为球头在光学非球面的表面上连续移动,不仅能够实现对光学非球面的连续测量,而且可以利用杠杆机构的放大作用以及测量探头的光栅传感器的准确度,将光学非球面的表面轮廓起伏放大,从而显著提高了对光学非球面的测量准确度。本发明还提供了上述轮廓检测装置的一种检测光学非球面的方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 轮廓 检测 装置 及其 光学 球面 方法 | ||
【主权项】:
1.一种轮廓测量装置,用于检测光学非球面的面型轮廓,包括导轨和移动设置在所述导轨上的测量机构,其特征在于,所述测量机构包括:与所述导轨滑动连接的连接件;设置在所述连接件上的杠杆机构,所述杠杆机构的杠杆的一端,连接有能够与光学非球面接触的球头,另一端连接有测量探头,并且所述杠杆机构能够将光学非球面的表面轮廓起伏放大。
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