[发明专利]加热器区块及利用所述加热器区块的基板热处理装置

摘要

本发明提供一种加热器区块及利用所述加热器区块的基板热处理装置。所述加热器区块包括加热灯，所述加热灯用以将热量传递至包括具有不同长度的短边与长边的矩形基板，所述加热灯包括多个灯泡。所述灯泡被排列成使平行于所述矩形基板的短边安置的所述灯泡的数目与平行于所述矩形基板的长边安置的所述灯泡的数目彼此相同。本发明提供的加热器区块能够在对矩形基板进行热处理时确保热均匀性。

主权项

1.一种加热器区块，其特征在于，包括加热灯，所述加热灯用以将热量传递至包括具有不同长度的短边与长边的矩形基板，所述加热灯包括多个灯泡，其中所述灯泡被排列成使平行于所述矩形基板的所述短边安置的所述灯泡的数目与平行于所述矩形基板的所述长边安置的所述灯泡的数目彼此相同，当所述灯泡的短边:长边排列比率是平行于所述矩形基板的所述短边安置的所述灯泡之间的间隔对平行于所述矩形基板的所述长边安置的所述灯泡之间的间隔的比率时，所述灯泡的所述短边:长边排列比率被确定成使在平行于所述矩形基板的所述短边的方向上安置的所述灯泡的数目与在平行于所述矩形基板的所述长边的方向上安置的所述灯泡的数目彼此相同。