[发明专利]基板热处理装置

摘要

本发明涉及一种基板热处理装置，且更具体而言，涉及一种通过热处理来改善基板的电性特性的基板热处理装置。根据示例性实施例的基板热处理装置包括：热处理室，用以界定基板的热处理空间；基板支撑构件，用以在热处理空间中支撑基板；加热器区块，在面对基板的灯安装表面上设置有多个加热灯；以及窗口，阻挡由加热灯产生的灯波长范围中预定阻挡波长范围内的光波长，且透射其余波长范围的透射波长范围内的光波长，以传递至基板。

主权项

一种基板热处理装置，其特征在于，包括：热处理室，经配置以界定基板的热处理空间；基板支撑构件，经配置以在所述热处理空间中支撑所述基板；加热器区块，在面对所述基板的灯安装表面上设置有多个加热灯；以及窗口，阻挡由所述加热灯产生的灯波长范围中预定的阻挡波长范围内的光波长，且透射其余波长范围的透射波长范围内的光波长，以将所透射的光波长传递至所述基板。