[发明专利]MEMS光阀及其制作方法、显示装置有效
| 申请号： | 201510290290.2 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104834085B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 曲连杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138 | 代理人： | 腾一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS光阀及其制作方法、显示装置，该MEMS光阀包括衬底、设置在所述衬底表面上的固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅通过所述可动光栅上的缺孔套设在所述衬底表面上的柱状结构上，所述柱状结构的表面上还设置有连接层，且所述连接层还设置在所述可动光栅的表面上以将所述可动光栅与所述柱状结构固定连接。本发明提供的MEMS光阀，通过在用于套设可动光栅的柱状结构的表面上设置连接层，并使连接层还设置在可动光栅的表面上，从而将可动光栅与柱状结构固定连接，进而降低了可动光栅脱落的风险。 | ||
| 搜索关键词： | mems 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种MEMS光阀，包括衬底、设置在所述衬底表面上的固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅通过所述可动光栅上的缺孔套设在所述衬底表面上的柱状结构上，其特征在于，所述柱状结构的表面上设置有连接层，且所述连接层还设置在所述可动光栅的表面上以将所述可动光栅与所述柱状结构固定连接。
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