[发明专利]一种波导激光器的制备方法

摘要

本发明公开了一种波导激光器的制备方法，包括如下步骤：对晶体进行抛光，并清洗抛光后晶体的表面；在晶体表面蒸发一层镱膜，并高温扩散处理；在晶体表面镀一层金属保护膜，光刻刻出波导；对晶体进行质子交换，退火处理，形成光波导；对光波导进行反质子交换，形成掩埋质子交换波导；对掩埋质子交换波导两端镀激光谐振腔膜，形成波导激光器。本发明波导激光器的制备方法，采用质子交换的方法制备波导激光器，降低了光折变损伤，从而使波导激光器产生稳定的连续波激光振荡，进一步利用反质子交换工艺，提高了波长转换效率。

主权项

一种波导激光器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1，选择形状为长方体的LiNbO₃晶体，对LiNbO₃晶体的上表面和其中两个相对的侧面进行抛光，并清洗抛光后的上表面和两个相对的侧面；步骤2，在清洗后的LiNbO₃晶体上表面蒸发一层镱膜，并对镱膜进行扩散处理，得到Yb:LiNbO₃晶体；步骤3，在镱膜的中间预留3‑5mm的通道，该通道与步骤1所述两个相对的侧面垂直，且通道的两端分别延至上表面的两端，在通道两侧镀一层金属保护膜，对预留的通道刻出波导；步骤4，在步骤3的基础上对Yb:LiNbO₃晶体进行质子交换和退火处理，得到光波导；步骤5，对光波导进行反质子交换，得到掩埋质子交换波导；步骤6，在掩埋质子交换波导的两个相对侧面镀激光谐振腔膜，得到波导激光器。