[发明专利]一种石墨烯-氮化硼异质结的制备方法在审
申请号: | 201510292023.9 | 申请日: | 2015-06-01 |
公开(公告)号: | CN104944417A | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 陈吉;卢光远;吴天如;王慧山;张学富;王浩敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04;C01B21/064 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种石墨烯-氮化硼异质结的制备方法,包括以下步骤:S1:在热释放胶带上粘附石墨烯;S2:将所述热释放胶带表面粘附有所述石墨烯的一面贴合到氮化硼上;S3:加热使所述热释放胶带失去粘性,然后揭去所述热释放胶带,得到石墨烯-氮化硼异质结。本发明利用热释胶带的连续转移,得到上下表面干燥且干净的石墨烯/氮化硼,转移方法条件简单、成本低、重复性好、且对环境友好,成功避免了湿法转移过程中因对金属生长衬底腐蚀所引入的金属离子和化学基团,同时也避免了在去除PMMA胶等过程中对石墨烯、氮化硼的表面形貌的破损更避免了残胶的去除不干净的可能性。高质量的石墨烯-氮化硼异质结为后期制备石墨烯的电子器件奠定了良好的基础。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 氮化 硼异质结 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种石墨烯‑氮化硼异质结的制备方法,其特征在于,所述石墨烯‑氮化硼异质结的制备方法包括以下步骤:S1:在热释放胶带上粘附石墨烯;S2:将所述热释放胶带表面粘附有所述石墨烯的一面贴合到氮化硼上;S3:加热使所述热释放胶带失去粘性,然后揭去所述热释放胶带,得到石墨烯‑氮化硼异质结。
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