[发明专利]离子布植机

摘要

离子布植机，包括离子源以及至少一个光学组件。离子源提供一道离子束，而光学组件是配置于离子束的传递路径上，用以将离子束调整为非平行离子束，借以用非平行离子束的不同部分同时对一个工件的不同区域进行离子布植。光学组件可以是磁性组件，像是磁四极矩或是分别位于二个相分离支架上的多数个线圈。光学组件也可以是电性组件，像是分别位于二个相分离支架上的多数个电极。不同的光学组件分别可以用来将离子束予以发散或收敛，借以将离子源提供的离子束调整为平行度较差的非平行离子束。

主权项

1.一种离子布植机，其特征在于，包括：一离子源，提供一离子束；沿着离子束传输途径排列且位于离子源下游的多个光学组件,在此该多个光学组件的不同部分是调整离子源提供离子束的不同部分，用以将离子束调整为一非平行离子束，其中该非平行离子束为发散离子束或收敛离子束，在此非平行离子束的平行度是明显小于平行离子束的平行度，其中，当非平行离子束为发散离子束时，其发散角度大于等于3度但小于等于10度、或是大于5度但小于15度、或是不小于4度也不大于8度、或是小于18度而大于3度；或者，当非平行离子束为收敛离子束时，且其收敛角度大于等于3度但小于等于10度、或是大于5度但小于15度、或是不小于4度也不大于8度、或是小于18度而大于3度，其中所述多个光学组件至少包含:至少一磁性组件，配置于离子束传递路径并位于离子源下游,还有一电性组件，配置于离子束传递路径并位于磁性组件下游；至少一磁性组件，配置于离子束传递路径并位于离子源下游,还有一电性组件，配置于离子束传递路径并位于二个磁性组件之间；以及至少一电性组件，配置于离子束传递路径并位于离子源下游,还有一磁性组件，配置于离子束传递路径，并且位于所有电性组件的下游或是位于二个电性组件之间；以及一分析磁铁，其系用以滤除不需要的离子，且所述多个光学组件位于所述的分析磁铁的下游；以及一承载装置，其系用以承载一工件,其配置于离子束传递路径并位于光学组件的下游，该工件具有鳍状三维结构，且该工件的鳍状三维结构的顶表面及侧表面同时被该非平行离子束的不同部分所布植。