[发明专利]遮罩在审
| 申请号： | 201510298783.0 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106282916A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 郦唯诚;卓家汶 | 申请（专利权）人： | 旭晖应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 梁挥,常大军 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种遮罩，其包含一遮罩板体以及多个防刮垫块，该遮罩板体中形成多个间隔排列的镀膜沉积通孔，该多个防刮垫块分布设置于该遮罩板体的基材迎接侧。藉此，使该遮罩能以该多个防刮垫块接触基板，使遮罩贴合基材或与基材分离的操作过程中，能够有效地避免遮罩板体的锐利边缘刮伤基材侧表面或基材侧表面沉积的镀膜，确保基材镀膜沉积工艺的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 遮罩 | ||
【主权项】：
一种遮罩，其特征在于，包含：一遮罩板体，其相对两侧分别为一沉积材迎接侧与一基材迎接侧，该遮罩板体中形成多个间隔排列的镀膜沉积通孔；以及多个防刮垫块，分布设置于该遮罩板体的基材迎接侧。
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