[发明专利]蒸发源装置及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201510300073.7 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN104846338A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 矫士博 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀设备技术领域，公开了一种蒸发源装置及蒸镀装置，用以提高材料受热的均匀性，进而提高材料蒸镀的良率，提高显示器件的性能。其中蒸发源装置包括：一端开口的坩埚；位于坩埚内、对坩埚内的材料进行搅拌的搅拌单元；驱动搅拌单元旋转的驱动装置。本发明提供的蒸发源装置，通过设置的搅拌单元，可以对坩埚内的材料进行搅拌，使得材料与坩埚的侧壁的接触面积一直保持最大，减少材料局部受热较多的情况的发生，进而减少材料分解或劣化的现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发源装置，其特征在于，包括：一端开口的坩埚；位于所述坩埚内、对所述坩埚内的材料进行搅拌的搅拌单元；驱动所述搅拌单元旋转的驱动装置。
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