[发明专利]一种高耐磨WS2固体润滑薄膜的制造方法

摘要

一种高耐磨WS2固体润滑薄膜的制造方法，采用电弧离子镀在金属材料基体的表面形成高耐磨WS2固体润滑薄膜，包括金属材料基体的预处理；将所述金属材料基体放入真空室内，所述真空室与离子镀装置连接，将所述真空室抽真空；通入Ar使离子镀装置的工作气压为设定值，开启离子镀装置的负偏压至‑400V～‑1000V，进行辉光发电，对所述金属材料基体表面进行清洗；以WS2为靶材，使用所述离子镀装置对所述金属材料基体进行表面改性，其中，离子镀装置的弧压为20V～36V，弧流为90A～100A，负压为‑100V～‑300V，沉积时间为1h，占空比为50‑90％；以及封存该金属材料基体。

主权项

一种高耐磨WS2固体润滑薄膜的制造方法，其特征在于，采用电弧离子镀在金属材料基体的表面形成高耐磨WS2固体润滑薄膜，包括如下步骤：S100、金属材料基体的预处理，对待加工的金属材料基体进行预处理，去除附着在所述金属材料基体表面的油脂、锈点和杂质；S200、生成高耐磨WS2固体润滑薄膜，在所述WS2固体润滑薄膜的膜层中，W:S为1:0.8，进一步包括：S201、将所述金属材料基体放入真空室内，所述真空室与离子镀装置连接，将所述真空室抽真空，将所述真空室抽真空至6.0×10‑4Pa；S202、通入Ar使离子镀装置的工作气压为设定值5Pa‑10Pa，开启离子镀装置的负偏压至‑400V～‑1000V，进行辉光发电，对所述金属材料基体表面进行清洗；S203、以WS2为靶材，使用所述离子镀装置对所述金属材料基体进行表面改性，其中，离子镀装置的弧压为20V～36V，弧流为90A～100A，负压为‑100V～‑300V，沉积时间为1h，占空比为50‑90％，所述靶材WS2的纯度为95％～99％；以及S300、金属材料基体的封存，将表面生成高耐磨WS2固体润滑薄膜后的所述金属材料基体放入丙酮溶液中清洗后烘干，并将烘干后的所述金属材料基体真空密封封存。