[发明专利]一种高温温度和压力光纤法布里珀罗复合微纳传感器

摘要

本发明涉及一种高温温度和压力光纤法布里珀罗复合微纳传感器，属于光纤传感器技术领域。本发明的传感器，包括光纤接入段、压力传感器段和温度传感器段；光纤接入段为实芯光纤，压力传感器为空芯的薄壁光纤，温度传感器为另一段实芯光纤；本发明采用飞秒激光加工的方法在两根实芯光纤端面各加工出一个圆柱形孔，然后将之熔接，形成一个FP干涉型的压力腔，将其中一根光纤作为光纤接入段，切割另外一根光纤并磨削成一定厚度的一段实芯光纤，形成温度传感器，通过控制温度传感器和压力传感器的腔长差来实现双参数测量的解耦。对比已有技术，本发明具有结构尺寸小、耐高温和温度/压力可同时测量且无双参数交叉敏感的优点。

主权项

一种高温温度和压力光纤法布里珀罗复合微纳传感器，其特征是：由依次连接的光纤接入段、压力传感器段和温度传感器段组成；光纤接入段1用于将宽带光信号持续引入高温环境中的多功能传感器并将调制后的信号反馈；压力传感器段2用于在高温和压力作用下调制光信号，温度传感器段3用于在高温作用下调制光信号；所述光纤接入段为实芯光纤，所述压力传感器段为空芯的薄壁光纤，在外界压力的作用下薄壁发生向内弯曲而使腔长变化；所述温度传感器段为另一段实芯光纤，在外界温度的作用下发生轴向膨胀而使腔长变化；空芯的薄壁光纤中的微腔结构与光纤同轴。