[发明专利]一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构

摘要

本发明公开了一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构，包括MEMS陀螺、独立线路组件、母板组件，整机采用三个正交陀螺和一个斜装陀螺，四个陀螺安装于底座中心，其中斜装陀螺与三个正交陀螺夹角相等，三个正交陀螺的输入轴两两相互垂直，第四个陀螺为斜装式，其输入轴和与三个正交陀螺输入轴的夹角相等。四通道线路各自独立在MEMS陀螺四周，结构紧凑，避免陀螺信号通过长线传输带来的干扰。

主权项

一种一体化MEMS惯性姿态敏感器结构，其特征在于：包括底座(1)、立柱(2)、单通道线路组件(3)、MEMS陀螺(4)、母板组件(5)、上罩(6)、光学基准镜(7)，其中由底座(1)、MEMS陀螺(4)组成的陀螺组件模块位于整机结构中心，MEMS陀螺(4)固连于底座(1)上，独立的单通道线路组件(3)以陀螺组件模块为中心立于整机四周，通过立柱(2)与陀螺组件模块固连，避免陀螺信号通过长线传输带来干扰，母板组件(5)、上罩(6)位于整机结构顶部，为陀螺组件模块抵抗空间辐射，光学基准镜(7)粘结于底座(1)一端的基准镜安装面上，为卫星的安装提供基准；MEMS陀螺(4)包括三个正交陀螺和一个斜装陀螺，其中斜装陀螺与三个正交陀螺夹角相等，三个正交陀螺的输入轴两两相互垂直，分别与星体坐标系的XYZ轴平行，形成正交的XYZ测量坐标系，可测量出卫星沿滚动轴、俯仰轴和偏航轴的角速度分量，作为备份的斜装陀螺，其输入轴和与三个正交陀螺输入轴的夹角相等，保证整机有较高的可靠性和较长的使用寿命。