[发明专利]生成方法和系统、校准方法及工艺控制和成品率管理方法在审
| 申请号： | 201510305086.3 | 申请日： | 2015-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN105279302A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 拉尔斯·博姆霍尔特;林西伟;约翰·基姆 | 申请（专利权）人： | 新思科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/66;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 康建峰;李春晖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于生成电路设计的方法和系统、用于校准检测仪的方法、以及用于工艺控制和成品率管理的方法。提供了一种用于生成集成电路的电路设计方法，该电路设计包括功能区(FA)和非功能区。该方法包括以下步骤：向EDA工具提供对测试单元(TC)的描述，和将测试单元(TC)嵌入该电路设计中。其中，对测试单元(TC)的描述包括对测试结构(HS)的描述，并且该测试结构(HS)被设计成对制造工艺的变化敏感。此外，将测试单元(TC)嵌入非功能区中，并且所述嵌入由EDA工具自动执行。与电路描述内的常规结构相比，测试结构(HS)被有意地设计成对制造工艺的变化敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 生成 方法 系统 校准 工艺 控制 成品率 管理 | ||
【主权项】：
一种用于生成集成电路的电路设计的方法，所述电路设计包括至少一个功能区和至少一个非功能区，所述方法包括：‑向电子设计自动化工具提供对至少一个测试单元的描述；其中，‑对所述测试单元的描述包括对至少一个测试结构的描述；并且‑所述至少一个测试结构被设计成对制造工艺的变化敏感；以及‑将所述至少一个测试单元嵌入所述电路设计；其中，‑将所述至少一个测试单元嵌入所述至少一个非功能区中的一个非功能区中；并且‑所述嵌入由所述电子设计自动化工具自动执行。
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