[发明专利]用于制造气体传感器封装的方法有效
申请号: | 201510309850.4 | 申请日: | 2015-06-08 |
公开(公告)号: | CN105158299B | 公开(公告)日: | 2020-03-03 |
发明(设计)人: | W·恒茨克;D·普斯坦;F·迈耶;J·布勒 | 申请(专利权)人: | 盛思锐股份公司 |
主分类号: | G01N27/02 | 分类号: | G01N27/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 段登新 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于制造气体传感器封装的方法,包括以下步骤:将半导体芯片(3)安装在载体(2)上并施加模塑化合物(1)以至少部分地封闭所述半导体芯片(3),由此在所述模塑化合物(1)中生成开口(11),其中所述开口(11)提供到所述半导体芯片(3)的未被所述模塑化合物(1)覆盖的部分的通路。在模塑之后,通过所述开口(11)将敏感材料施加在所述半导体芯片(3)的没有被覆盖部分上以用于构建对气体敏感的层(31)。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 气体 传感器 封装 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制造气体传感器封装的方法,包括以下步骤:‑将半导体芯片(3)安装在载体(2)上,‑施加模塑化合物(1)以至少部分地封闭所述半导体芯片(3),由此在所述模塑化合物(1)中生成开口(11),所述开口(11)提供所述半导体芯片(3)没有被所述模塑化合物(1)覆盖的部分的通路,‑通过所述开口(11)将敏感材料施加在所述半导体芯片(3)的没有被覆盖的部分上以用于构建对气体敏感的层(31)。
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