[发明专利]动态特性可调宏微一体化复合平台

摘要

本发明提出动态特性可调宏微一体化复合平台，当宏微平台动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可以实现高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用，同时设置有刚度、频率调节机构和可变阻尼器，使微动平台在任意频率下能传递宏动平台运动且隔离振动，并实现高精度的位移补偿，同时可变阻尼器的阻尼大小与刚度频率参数配合，保证任意频率下的高精度位移补偿，提高工作频率范围。

主权项

动态特性可调宏微一体化复合平台，其特征在于：包括基座、宏动外框架和微动平台；所述宏动外框架与所述微动平台形成一体化平台，所述微动平台设置在所述宏动外框架的框架内部，所述微动平台包括用于放置工件的核心平台、用于支撑和位移输出的弹片组、用于抗共振的可变阻尼器和用于所述检测所述核心平台微位移的位移传感器，所述核心平台通过所述弹片组连接于所述宏动外框架；所述位移传感器设置于所述核心平台上，其位移测量方向与所述核心平台的进给方向一致，所述可变阻尼器设置于所述宏动平台外框架和所述微动平台之间，并分别与所述宏运动外框架及所述微动平台相连接；所述基座上设置有导轨、滑块和U型直线电机，所述滑块可滑动于所述导轨，所述U型直线电机包括定子、宏动外框架动子、微动平台动子和连接件，宏运动和微运动共用同一个所述定子；所述宏动外框架固定安装于所述滑块，并通过所述连接件连接于所述宏动外框架动子，由所述宏动外框架动子、所述微动平台动子和所述定子控制其滑动于所述导轨实现宏运动；所述核心平台通过所述连接件固定于所述微动平台动子，并由所述微动平台动子控制其在所述定子的微运动。