[发明专利]脆性材料衬底的刻划方法及装置

摘要

一种脆性材料衬底的刻划方法及装置，用以在脆性材料衬底表面以彼此交叉的方式形成多条刻划痕及交点，通过刻划痕单元在所述脆性材料衬底表面的第一方向形成至少一第一刻划痕，并在第二方向形成至少一第二刻划痕；所述刻划痕单元在刻划至预设的第一方向与第二方向上的刻划痕的交点的邻近区域时，减少其刻划荷重至小于刻划非位于交点之邻近区域的荷重，以减少交点跳越现象。

主权项

1.一种用于切割脆性材料衬底的方法，其中所述脆性材料衬底包括第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，所述切割方法包括以下步骤：(a)在所述脆性材料衬底的所述第一表面上设定多个预定切割线，所述多个预定切割线为至少分别沿着第一方向及第二方向延伸，且所述第一方向与所述第二方向并非平行；(b)通过刻划单元沿所设定的多个预定切割线刻划，在所述刻划单元加载可变荷重，以刻划形成在所述第一方向上的至少一条第一刻划痕，及刻划形成与所述第一刻划痕交叉的在第二方向上的至少一条第二刻划痕，所述至少一第一刻划痕与所述至少一第二刻划痕交叉形成至少一交点；(c)于形成所述至少一第一刻划痕时在所述刻划单元加载的荷重如下：在刻划非位于所述至少一交点的邻近区域时的荷重为P1，在刻划位于所述至少一交点的邻近区域时的荷重为M1；(d)于形成所述至少一第二刻划痕时在所述刻划单元加载的荷重如下：在刻划非位于所述至少一交点的邻近区域时的荷重为P2，在刻划位于所述至少一交点的邻近区域时的荷重为M2；且(e)M1与M2均至少小于P1与P2，且不为0。