[发明专利]热处理炉

摘要

在本发明中，基于第一、第二氧气传感器检测出的处理空间(11a)的氧气浓度与氧气浓度的目标值Ct，在操作量上限值到操作量下限值的操作量范围内，通过反馈控制来决定操作量MV1。接着，导出操作流量MV2，其中，所述操作流量MV2为将操作量范围换算成限制范围时、对已决定的操作量MV1进行换算后的值，其中所述限制范围是对由MFC 34可调整氢气流量的流量范围进行减小上限侧值及提高下限侧值中的至少一种而缩小的范围。之后，向MFC34输出所导出的操作流量MV2。

主权项

一种热处理炉，其特征在于，所述热处理炉具备：炉体，其在内部具有对对象物进行热处理的处理空间；氧气传感器，其用于检测所述处理空间的氧气浓度；流量调整单元，其可以在上限流量至下限流量的流量范围内对流向所述处理空间的氢气流量进行调整，并将所述氢气流量调整为已输入的操作流量；操作量决定单元，其基于所述氧气传感器检测出的氧气浓度及该氧气浓度的目标值，通过反馈控制在操作量上限值至操作量下限值的操作量范围内决定用于控制所述流量调整单元的操作量；及换算单元，其根据以下的式(1)，导出将所述操作量范围换算成限制范围时对已决定的所述操作量进行所述换算后的操作流量，并向所述流量调整单元输出导出的所述操作流量，其中，所述限制范围是通过对所述流量范围进行减小上限侧值及提高下限侧值中的至少一种而缩小的范围，MV2＝(b‑a)/(B‑A)×(MV1‑A)+a   (1)式中，MV1表示操作量，MV2表示操作流量，A表示操作量的下限值，B表示操作量的上限值，a表示限制范围的下限值，b表示限制范围的上限值。