[发明专利]感光性树脂组合物、保护膜及具有保护膜的元件有效
| 申请号： | 201510319696.9 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN105319852B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吴明儒;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关一种感光性树脂组合物、保护膜及具有该保护膜的元件。上述感光性树脂组合物包含聚硅氧烷树脂(A)、碱可溶性树脂(B)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(C)及溶剂(D)，其中该碱可溶性树脂(B)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(b1)、具有双键基团的芴衍生物(b2)及具有酸分解性基的不饱和化合物(b3)所共聚合而得。本发明的感光性树脂组合物可提升保护膜的流平耐性及耐显影性。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 保护膜 具有 元件 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，包含：聚硅氧烷树脂(A)，由如下式(I)所示的硅烷单体聚缩合形成：Si(Y1)a(OY2)4‑a 式(I)于式(I)中，Y1分别独立地代表氢原子、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至15的芳香基、具有酸酐基的烷基、具有环氧基的烷基或具有环氧基的烷氧基；Y2分别独立地代表氢原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基或碳数为6至15的芳香基；a代表0至3的整数；碱可溶性树脂(B)，由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(b1)、具有双键基团的芴衍生物(b2)及具有酸分解性基的不饱和化合物(b3)所共聚合而得；邻萘醌二叠氮磺酸酯(C)；以及溶剂(D)。
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