[发明专利]太赫兹在片散射参数测量校准件及其制备方法有效
| 申请号： | 201510323003.3 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104865453B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘亚男;胡志富;杜光伟;李静强;冯彬;彭志农;何美林;曹健 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R27/28 | 分类号： | G01R27/28;G01R3/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太赫兹在片散射参数测量校准件及其制备方法，涉及太赫兹器件散射参数测试装置技术领域。所述校准件包括衬底，所述衬底的上表面制作有一个直通标准件、一个反射标准件和至少一个传输线标准件，所述衬底的下表面制作有背面金属层，所述衬底作为整个校准件和被测件的共同衬底。所述校准件不仅可以解决衬底和被测件衬底不匹配的问题，提高了测量的精确度，还可以将校准后的参考平面移到管芯根部，不需要做去嵌入处理，并且采用共面波导结构还可以减小损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 散射 参数 测量 校准 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种太赫兹在片散射参数测量校准件，其特征在于：包括衬底(1)，所述衬底(1)的上表面制作有一个直通标准件(2)、一个反射标准件(3)和至少一个传输线标准件(4)，所述衬底(1)的下表面制作有背面金属层(5)，所述衬底(1)作为整个校准件和被测件的共同衬底；所述传输线标准件(4)采用多线结构，为两个以上；所述直通标准件(2)、反射标准件(3)和传输线标准件(4)均采用共面波导结构；所述背面金属层(5)的制备材料为金或铝；所述衬底(1)的制备材料为InP，所述直通标准件(2)、反射标准件(3)和传输线标准件(4)通过InP流片工艺同被测件一起制备在所述衬底(1)的上表面，所述背面金属层(5)通过InP流片工艺制备在所述衬底(1)的下表面。
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