[发明专利]玻璃基板的紫外光清洗装置有效
| 申请号： | 201510323940.9 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104858193B | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 姚江波 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板的紫外光清洗装置，包括灯箱、置于灯箱内上方的紫外光灯、置于紫外光灯下方的透明防护罩、置于透明防护罩下方的加湿器、及置于透明防护罩下方与加湿器相对设置的强力排风装置；使用时，玻璃基板被传送至灯箱内，紫外光灯发出的紫外光透过防护罩照射于玻璃基板上，对玻璃基板进行清洗，并通过加湿器调节灯箱内部的湿度和氧含量，使玻璃基板表面吸附一层水分子，紫外光干式清洗时产生的电子可通过水分子逐渐传导泄露，可有效抑制静电的积累，减少静电击伤现象，同时氧含量的增加使灯箱内氧活性原子浓度也随之增加，从而提高了紫外光清洗有机物的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 紫外光 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的紫外光清洗装置，其特征在于，包括：灯箱(1)、置于灯箱(1)内上方的紫外光灯(2)、置于紫外光灯(2)下方的透明防护罩(3)、置于所述透明防护罩(3)下方的加湿器(4)、及置于所述透明防护罩(3)下方与所述加湿器(4)相对设置的强力排风装置(5)；使用时，玻璃基板(6)被传送至所述灯箱(1)内，所述紫外光灯(2)发出的紫外光透过所述防护罩(3)照射于玻璃基板(6)上，对所述玻璃基板(6)进行清洗，并通过所述加湿器(4)调节所述灯箱(1)内部的湿度和氧含量；所述加湿器(4)与强力排风装置(5)平行于所述玻璃基板(6)的传送方向分别设于所述玻璃基板(6)两侧的上方；所述加湿器(4)的气流方向平行并贴近于玻璃基板(6)的表面；所述防护罩(3)上接近玻璃基板(6)的一侧涂覆有一层透明的疏水涂层；所述加湿器(4)可以分别输出水蒸汽、氧气、氮气，以调整所述灯箱(1)内部的湿度和氧含量；还包括用于测量所述灯箱(1)内部的空气湿度和氧含量的测试仪，所述测试仪设置于所述加湿器(4)附近。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510323940.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
