[发明专利]微机械构件及其制造方法有效
| 申请号： | 201510328917.9 | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN105314589B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | J·赖因穆特;J·克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81B3/00;B81C1/00;B81C3/00;G01D5/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种微机械构件包括传感器芯片和与所述传感器芯片连接的盖芯片。在所述传感器芯片和所述盖芯片之间构造空腔。所述传感器芯片具有布置在所述空腔中的活动元件。所述盖芯片具有布线层，所述布线层具有导电电极。所述盖芯片具有布置在所述空腔中的吸气元件。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 构件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机械构件(11，12，13，14，15)，其具有传感器芯片(100)和与所述传感器芯片(100)连接的盖芯片(400)，其中，在所述传感器芯片(100)和所述盖芯片(400)之间构造空腔(210)，其中，所述传感器芯片(100)具有布置在所述空腔(210)中的活动元件(220)，其中，所述盖芯片(400)具有布线层(440，460)，所述布线层具有导电电极(441，442，461)，其中，所述盖芯片(400)具有布置在所述空腔(210)中的吸气元件(480)，其中，所述吸气元件(480)与所述电极(441，442，461)导电连接，并且所述吸气元件(480)构造用于激励和/或探测所述活动元件(220)的活动。
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