[发明专利]一种耐高温的柔性声表面波器件及其制造方法

摘要

本发明涉及声表面波器件制造领域，具体涉及一种耐高温的柔性声表面波器件的结构及其制造方法。其结构从下至上依次为：底层保护层、柔性合金衬底、缓冲层、压电薄膜、叉指电极和顶层保护层。柔性合金衬底采用高温柔性合金带材；缓冲层和底层保护层为非晶氧化物薄膜；压电薄膜为氮化铝薄膜；叉指电极材料为金；顶层保护层为氮化铝薄膜。先将柔性合金衬底的预处理，再采用化学溶液浸渍提拉法制备非晶氧化物薄膜，然后制备压电薄膜和叉指电极，最后制备顶层保护层。本发明具有器件结构耐高温，并且拥有良好的柔性特性、质量轻、可工作于复杂的曲面环境和成本低廉的优点。

主权项

一种耐高温的柔性声表面波器件，从下至上依次为：底层保护层、柔性合金衬底、缓冲层、压电薄膜、叉指电极和顶层保护层，其特征在于：所述叉指电极材料为金(Au)，厚度为100nm～200nm；所述柔性合金衬底采用镍基高温合金、钴基高温合金或铁基高温合金，厚度为10～100μm；所述缓冲层和底层保护层为相同的非晶氧化物薄膜，采用氧化钇(Y₂O₃)或钇铝氧(Y₂O₃‑Al₂O₃)，厚度为100nm～2μm。