[发明专利]一种多通道阵列气体传感器的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510329597.9 申请日: 2015-06-15
公开(公告)号: CN104950015B 公开(公告)日: 2020-03-27
发明(设计)人: 孙旭辉;张书敏 申请(专利权)人: 江苏智闻智能传感科技有限公司
主分类号: G01N27/04 分类号: G01N27/04
代理公司: 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 代理人: 薛峰;康正德
地址: 215334 江苏省苏州市昆*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多通道阵列气体传感器的制备方法,包括以下步骤:S1、制备多通道阵列气体传感芯片,将一个或多个所述传感芯片固定在基板上;S2、配制敏感材料溶液;S3、将所述敏感材料溶液移置入孔板中并进行编号,采用点样喷针吸取孔板中的所述敏感材料溶液,并按照编号顺序逐一将敏感材料溶液阵列式地喷滴到传感芯片相应的位置上;S4、将喷滴了敏感材料的传感芯片进行老化处理。该制备方法极大提高了在传感芯片上滴加敏感材料的速度和精确度,可灵活在同一基板上或不同基板上滴加不同敏感材料。
搜索关键词: 一种 通道 阵列 气体 传感器 制备 方法
【主权项】:
一种多通道阵列气体传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、制备多通道阵列气体传感芯片,将一个或多个所述传感芯片固定在基板上;S2、配制敏感材料溶液;S3、将所述敏感材料溶液移置入孔板中并进行编号,采用点样喷针吸取孔板中的所述敏感材料溶液,并按照编号顺序逐一将敏感材料溶液阵列式地喷滴到传感芯片相应的位置上;S4、将喷滴了敏感材料的传感芯片进行老化处理。
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