[发明专利]一种MEMS结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201510330771.1 | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN105174197A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 程进;陈巧;丁金玲;徐乃涛;孙其梁;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市无锡新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微机械系统领域，涉及一种MEMS结构及其制作方法，结构包括衬底、可控变形部件、被悬挂部件，其中，被悬挂部件通过至少一个可控变形部件与衬底连接，还包括设置在所述被悬挂部件上的第一连接部以及设置在所述衬底上的第二连接部。一种所述MEMS结构的制作方法，所述可控变形部件为两种或两种以上不同膨胀系数材料叠放而成的薄膜结构，通过外部对整个MEMS结构加热或制冷来控制可控变形部件的变形，从而改变被悬挂部件的悬挂高度或角度；当被悬挂部件的悬挂高度或角度达到设定要求后，通过粘结材料将被悬挂部件上第一连接部与衬底上的第二连接部连接固定。本发明方法实现了MEMS结构精密，准确，可靠的固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构，其特征在于，包括衬底（1）、可控变形部件（3）、被悬挂部件（4），其中，被悬挂部件（4）通过至少一个可控变形部件（3）与衬底（1）连接，还包括设置在所述被悬挂部件（4）上的第一连接部（7）以及设置在所述衬底（1）上的第二连接部（8）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡微奥科技有限公司，未经无锡微奥科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510330771.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：集成线序标识的新型网线钳
- 下一篇：一种超高速大电流导电滑环
