[发明专利]一种涡旋干式真空泵

摘要

一种涡旋干式真空泵，属于容积式真空泵技术领域。在涡旋干式真空泵的涡旋定盘上设置有若干处辅助排气阀，辅助排气阀的分布方式为以涡旋工作腔的最大基圆展开角处为起点，且展开角每减小2π就沿涡旋型线方向布置一个辅助排气阀。本发明与现有技术相比，突破了现有涡旋干式真空泵在定压比工作方式上的限制，在涡旋定盘上设置了辅助排气阀，当入口压力较高时，能够及时通过辅助排气阀排除涡旋工作腔内的一部分高压气体，使涡旋工作腔的压力降到合理水平，在很大程度上避免了过压缩现象的产生，从而减小涡旋体所受到的冲击作用，使涡旋干式真空泵具有了工作平稳、振动小及节约能源的特点。

主权项

一种涡旋干式真空泵，包括电动机、曲拐轴、涡旋动盘、涡旋定盘及壳体，所述电动机的电机轴与曲拐轴的主轴端通过联轴器相连接，所述涡旋动盘套装在曲拐轴的偏心部，所述涡旋定盘与涡旋动盘相配合，涡旋定盘与壳体在外圆周侧密封连接，涡旋定盘与涡旋动盘之间的压缩配合腔为涡旋工作腔，涡旋工作腔的外圆周侧与涡旋定盘上的进气口相通，涡旋工作腔的中心侧与涡旋定盘内的排气通道相通，排气通道与排气口相通；所述涡旋工作腔分为外涡旋工作腔和内涡旋工作腔，所述外涡旋工作腔由涡旋动盘的涡旋体凸面与涡旋定盘的涡旋体凹面配合形成，所述内涡旋工作腔由涡旋动盘的涡旋体凹面与涡旋定盘的涡旋体凸面配合形成；其特征在于：在所述涡旋定盘上设置有若干处辅助排气阀；所述辅助排气阀的分布方式为：以涡旋工作腔的最大基圆展开角处为起点，且展开角每减小2π就沿涡旋型线方向布置一个辅助排气阀；所述辅助排气阀由限位板、弹簧、阀片及辅助排气孔组成，所述辅助排气孔位于涡旋定盘上，所述涡旋工作腔通过辅助排气孔与真空泵外部相通；所述辅助排气孔为阶梯孔，且辅助排气孔的小孔靠近涡旋工作腔，所述阀片和弹簧均位于辅助排气孔的大孔内，所述限位板固定在涡旋定盘外侧，且弹簧位于限位板与阀片之间，阀片通过弹簧的外撑力紧密贴合在辅助排气孔的阶梯过渡面上；所述辅助排气阀位于外涡旋工作腔时，辅助排气孔的小孔位于距涡旋定盘的涡旋体凹面一个齿厚范围内，且顺着涡旋体凹面涡旋型线排成一排；所述辅助排气阀位于内涡旋工作腔时，辅助排气孔的小孔位于距涡旋定盘的涡旋体凸面一个齿厚范围内，且顺着涡旋体凸面涡旋型线排成一排。